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氮化鎵(GaN)HVPE單晶生長設備 立式


所屬分類:

第三代半導體工藝設備


概要:

? 用于氮化鎵(GaN)單晶生長 ? 用于氧化鎵(Ga?O?)、氮化鋁(AIN)、磷化銦(InP)、砷化鎵(GaAs)外延生長


關鍵詞:

HVPE單晶生長設備 立式



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PVT單晶生長設備

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